第六章 时代造成的技术落差

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“傅书记，您看是不是……”舒雨菲察觉到会议室出现冷场，从刚才听不懂的茫然中清醒过来，赶紧出言救场。

“对对对，我们先谈正事，闲话下来再聊。”傅林也连忙将话题拉回。

众人哈哈一笑，将刚才的沉闷气氛一扫而空，三位老教授也从自我意识空间回到现实。郭逸铭所谈论的内容，对他们具有很高的启迪意义，不过这都需要等事后，再在工作中进行验证。刚才随便聊聊，就有这样的收获，对于今天要做的专利技术鉴定，他们或许还能收获到更多的惊喜。

有了前面的铺垫，众人都是精神一振。

见微知著，这家美国公司派出来的一个总经理助手，都有这样深厚的技术造诣，想来他们所说的专利，也确有其独到之处，大家对西部计算机公司的技术实力更加具有期待。三位被拉来提供技术参考的老科学家，也充满了兴趣。

“郭先生，你说你们公司在半导体材料制备中，取得了几项技术突破，并申请了专利，不知道能否向我们大略地说一说？”雷为民开门见山，首先打开话题。

“当然没问题！麻烦能给我一张纸，一支笔吗？”

郭逸铭满口答应，从雷为民所长手中接过一本印着中科院材料应用研究所抬头的便签本，一支钢笔，熟练地在纸上画了一张设备草图。设备很高，整体封闭，看起来很像是一个锅炉，但在内胆部分，单独画出了一个石英坩埚。

“这是单晶炉吧？”

他在画的时候，其他人为了保持仪态，坐在原位没有动，只是远远地看见了草图的大概轮廓。雷为民所长经常主持实际工作，对于单晶炉并不陌生，看到锅炉内部的提升臂，一口就说出来。

“对，这是单晶炉！”

郭逸铭起身，将草图递给研究所两位领导，他们看了一眼，便交到董美堂他们手中。三位老科学家一眼就看出，这是一个标准的单晶炉草图，和他们在外国技术书刊中所见并无区别。现实中，国内单晶硅制备就是依照这种单晶炉制造。

他们将草图又递还给郭逸铭，静静等他做出说明。

“我们的第一项专利，就是单晶炉热屏。这是一种给单晶炉熔炼区配备一个固定热屏障的部件，以实现……”郭逸铭在单晶炉熔炼区上方，画了一个配件，再转递给三位，但话没说完，就被对方的惊呼给打断。

“热屏障！”

郭逸铭的话还没说完，对面静坐的三位老科学家已经震惊无比，一齐叫起来。他们飞快拿过草图，只看了一眼，心中犹如惊涛骇浪。董美堂扭转头，从身旁的搭档眼中，同样看到了震撼、恍然、懊恼等诸多神情。

长期从事应用研究的他们，只是听了一个名词，看了一下简图，便立即明白到这项技术的价值。这无须实际验证，只要用脑子想一想，仅凭逻辑都能明白，它蕴含着多么巨大的价值！

热屏障！

这是一个多么简单的设想！

是的，它绝对不是什么高科技，蕴含的技术含量还不如单晶炉外壳，可它是一个极其绝妙的点子。仅仅加了一个热屏障，就解决了他们费时费力，在单晶硅制备中也很难解决的大部分难题。

他们在欣喜之余，也都极感懊恼。

这样一个并非技术突破，而只是一个灵光一现的想法，他们怎么会没有想到呢，居然被美国一家公司给抢先发明了出来，并申请了专利！对他们而言，这可是严重失职！

郭逸铭停下说话，安静地等待他们平静下来。

早期的单晶炉都是敞口式设计，底部熔炼区产生的热气弥漫于单晶炉，热气蒸腾，硅晶棒处于持续加热状态，结晶困难，因而加大了制备难度。同时表层晶体反复融化，也造成了硅晶棒成品率降低，外圈坏点增多。

历史上，的确是美国率先发明了热屏，在熔炼区上方增加了一个屏罩，取得了立竿见影的效果。热量被束缚在熔炼区，减小了对提升的硅晶棒造成的影响，硅晶元的制取成功率立即得到了数量级提升。

而我国由于受到国际封锁，得不到最新技术，也无法进口先进设备。所从事的半导体材料制备研究，几乎都是源自于对西方技术书籍的参考，照猫画虎，对其进行复原。在这些书籍中，只有基本的原理草图，对于此后的改进只字不提，当然是进步缓慢。

事实上，直到九十年代，我们在进口日本的单晶炉的时候，日本人还是将没有热屏的单晶炉出口到中国，试图以此来误导国内半导体材料制备，继续在错误的方向上前行。

郭逸铭作为一名材料系学生，又在材料应用研究所实际工作十多年，这样的缺憾听了不知多少。学校导师、实验室前辈，都曾对他们谆谆教导，让他们记住前人在这上面走过的弯路，吃过的亏，明白中国科学进步，付出了多少惨重的代价。

因此在事业起步的第一步，他便毫不犹豫选择申请了这项专利。

技术简单，成本低廉，但效果极其突出，根本和高科技毫不沾边，就是一个想法而已。这完全就是为一无所有的他，量身定做的最佳突破口。

他等到三位老科学家苦涩地平静下来，才继续说道：“这种热屏具有以下几个优点：一，在增加了我们公司设计的热屏以后，热量受到束缚，硅晶棒的增长速度可以得到有效提升，据测算，一炉单晶棒正常情况下需要一周的生长时间，而在加了热屏以后，在其他条件相同的状况下，单晶棒的生长期可以缩短到三天！”

“三天！”

所有人都无法镇定了，三位老科学家已经从椅子里站了起来，他们知道这项技术好，但没想到好到这种程度。就连对技术一窍不通的舒雨菲也惊呼出声。她知道这家美国公司的出现，大概会给国内半导体科学的发展，带来益处，但也没想到，这个好处竟然如此之大，令她感到头脑有些眩晕。

一周，三天，这当中的含义，就是她一个什么都不懂的技术白痴，也明白。

增加一个看似不起眼的小部件，居然就可以让设备的效率倍增！

什么是工业化大规模生产，这就是！

郭逸铭微微一笑：“其二，由于有效减小了无效热耗，因此消耗的电力也相应降低，一炉三英寸单晶棒，耗费电力通常是120千瓦/每小时。采用了热屏以后，能耗降低到90千瓦/每小时，单位时间能耗降低百分之二十五到百分之三十。并且由于单晶棒生长时间大幅缩短，一炉的实际能耗降低到原来的百分之四十！”

所有人都震惊得说不出话来。

单晶制备的日常成本，体现在哪里？就是熔炼所耗费的电力！现在在加了热屏以后，制备一炉单晶棒所需要的能耗降低到原来的百分之四十，岂不是说，单晶棒的制备成本也降到了原来的百分之四十！

一本万利啊！

如果只有西部计算机公司掌握了这项技术，在硅晶元制备的成本竞争中，有哪家公司是他们的对手？他们光是卖硅晶元，一年都要赚多少钱啊！

郭逸明话还没有完：“其三，经过计算，由于有了热屏障，提拉区产生的热效应稳定，温度将比没有热屏的单晶炉降低百分之二十左右，单晶棒的生成也将更加稳定，晶元良品率将达到百分之八十以上。假如在提升稳定性等方面做出改进，单晶生成的良品率甚至有望达到百分之九十七！”

这又是一颗重磅炸弹，但除了技术懵懂的舒雨菲，其他人倒没有惊讶。

有了前面这些优势，显著提高单晶棒生长的良品率，这不是水到渠成的么？不过话归这么说，良频率的提升依然是一个非常令人欣喜地成就。

他们孜孜不倦工作，为的不就是改进单晶硅生长的良品率么。在往日的研究中，单晶硅生长量频率稍微提高几个百分比，他们就欢欣庆贺，实在是今天听到的震撼性信息太多了，这个平时可以让全所敲锣打鼓向上级报捷的重大突破，也只是让他们脸上抽搐了一下。